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毫无疑问,林本坚是有才华的人,姜尚易也很欣赏林本坚,不然也不会在林本坚创业失败之后来TSM求职的时候,给了他入职TSM的机会了。
但眼下林本坚的建议,却是让他有些犯难。
他合上文件夹,看向林本坚,说道:“小林啊,关于这个方案,你是怎么想的?”
林本坚也没想太多,作为一个技术宅,他选择了实话实说,给出的建议也很简单:“我就是觉得极紫外线的思路是对的,而想要降低光的波长,光源出发才是根本方法。毕竟连高中学生都知道,水会影响光的折射率。”
姜尚易微微皱眉,随后叹了口气,说道:“所以呢,你就建议在透镜和硅片之间加一层水,将原有的193nm激光经过折射,然后直接越过157nm的天堑,降低到132nm?”
林本坚兴奋地点头:“没错,我就是这么想的。”
眼见这位下属还没意识到问题的严重性,姜尚易不得不提醒他:“你的这套方法,只是理论上可行,想要具体落实下来,投入的资金绝非小数目。当然,最大的难题不是技术本身,而是外部。”
“外部?”
林本坚脸上的笑容一下子就凝固了,疑惑地问道:“什么意思?”
姜尚易也没有卖关子,直接说道:“全世界的研发方向都朝向157纳米,不但有很多厂商和研发单位投注到这波长,而且全球对157纳米的投资远超过10亿美元。单单一家光刻机台的厂商号称已投资超过7亿多美元,你的沉浸式光刻技术思路,和他们背道而驰。如果你是对的,那么他们的投入就得打水漂了。”
林本坚似乎明白了什么事情,但是他有些不服气,说道:“他们的投入打水漂关我们什么事呢?如果我们只做跟随者,那我觉得研发部门都可以裁撤了,直接等别人研发好了之后我们拿过来用就是了。”
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